SMC電磁閥VX2220-02-5DS特點：在真空、負壓、零壓時能正常工作，但通徑一般不超過25mm。
分步直動式電磁閥
原理：它是一種直動和先導式相結合的原理，當入口與出口沒有壓差時，通電后，電磁力直接把先導小閥和主閥關閉件依次向上提起，閥門打開。當入口與出口達到啟動壓差時，通電后，電磁力先導小閥，主閥下腔壓力上升，上腔壓力下降，從而利用壓差把主閥向上推開；斷電時，先導閥利用彈簧力或介質壓力推動關閉件，向下移動，使閥門關閉。
特點：在零壓差或真空、高壓時亦能可*動作，但功率較大，要求必須水平安裝。

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